Продукция

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 127x127x2,24 мм (5009), 152х152х6,35 мм (6025), 177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

Основные технические характеристики изготавливаемых фотошаблонов:

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)	Тип фотошаблона	Спецификация
Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)	Тип фотошаблона	Допуск на размер (±мкм)	Совмещение (мкм)	Дефекты (мкм)
0,6-0,9	Бинарный	≥0,08	≥0,15	≥0,25
1-2	Бинарный	≥0,1	≥0,15	≥0,25
2,5-5	Бинарный	≥0,1	≥0,15	≥0,5
>5	Бинарный	≥0,1	≥0,15	≥0,5

Изготовление в соответствии с международными стандартами

Современная инновационная инфраструктура

Контакты
+7 (499) 720-69-67